普旭COBRADS2610/3010E真空泵工作原理
普旭（Busch）是一家在范圍內(nèi)提供真空泵、鼓風(fēng)機和壓縮機的生產(chǎn)*。到2015年為止，普旭在范圍內(nèi)擁有3000名員工。廣泛的真空泵系列、專業(yè)的真空知識、在真空系統(tǒng)建造方面的豐富經(jīng)驗以及廣泛的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，使得普旭（Busch）*有能力為客戶提供理想并完善的真空解決方案。
基本情況編輯
普旭（Busch）是真空泵、鼓風(fēng)機以及壓縮機的廠商之一。產(chǎn)品系列涵蓋了廣泛應(yīng)用于所有工業(yè)領(lǐng)域的真空和正壓技術(shù)解決方案。憑借在真空泵及低壓泵制造領(lǐng)域50多年的經(jīng)驗，普旭（Busch）可提供種類齊全的產(chǎn)品，為提供廣泛的工業(yè)真空技術(shù)。
普旭（Busch）創(chuàng)建于1963年，總部位于德國馬爾堡。普旭（Busch）在德
國、瑞士、美國、英國、韓國、捷克共擁有6家現(xiàn)代化制造工廠，連同遍布于43個主要工業(yè)國家的61家分公司及完善的經(jīng)銷服務(wù)網(wǎng)絡(luò)為用戶提供專業(yè)服務(wù)。
我們公司成立于1963年。我們在40多個國家和地區(qū)擁有60多家公司，無論客戶身在何處，我們都能為客戶提供完善的建議和實際支持。
我們所有的產(chǎn)品都具有多種選項和*設(shè)計功能，以滿足各種應(yīng)用需求，因此我們的客戶可以從合適和具有成本效益的解決方案中受益。我們不斷評估我們的活動，以保持高標準，并繼續(xù)開發(fā)定義真空系統(tǒng)應(yīng)用未來的創(chuàng)新技術(shù)。
我們的總部位于德國Maulburg，主要的德國制造工廠所在地。Maulburg也是德國銷售組織的所在地。Busch在瑞士，英國，捷克共和國，韓國和美國經(jīng)營生產(chǎn)工廠。Busch集團是一家家族企業(yè)，由Busch家族成員管理。
Busch在擁有3,000多名員工，包括許多化學(xué)工程，機械工程和服務(wù)專家。憑借我們的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，我們?yōu)榭蛻籼峁┱婵毡煤拖到y(tǒng)的無縫服務(wù)。Busch服務(wù)技術(shù)人員和工程師在各個角落和許多行業(yè)維護真空系統(tǒng)-從北冰洋的海上石油勘探到巴塔哥尼亞的食品包裝。
干式螺桿真空泵的原理：
干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。它是傳統(tǒng)真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，未來具有極大的市場前景。
COBRASemicon干式螺桿真空泵
極限壓力：0.001-0.03hPa（mbar）
標稱抽速50Hz：70-7385m?/h
標稱抽速60Hz：85-7385m?/h
干式螺桿真空泵工作原理：
與螺桿式壓縮機類似，螺桿式干式真空泵的工作過程可分為吸氣、壓縮和排氣三個過程。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，每對相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環(huán)，現(xiàn)在以其中一對齒來說明。
吸氣過程
陽轉(zhuǎn)子按逆時針方向旋轉(zhuǎn)，陰螺桿按順時針方向旋轉(zhuǎn)。圖中上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。
壓縮過程
轉(zhuǎn)于端面是排氣端面。在這里，陽轉(zhuǎn)子沿順時針方向旋轉(zhuǎn)，陰轉(zhuǎn)于沿逆時針方向旋轉(zhuǎn)。圖中上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。
排氣過程
螺桿泵的排氣過程，齒間容積與排氣孔口連通后，即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出，
COBRASemicon干式螺桿真空泵在半導(dǎo)體，太陽能模塊和平板顯示器生產(chǎn)等高要求工藝中以及眾多工業(yè)涂料應(yīng)用中使用效率*。
可靠
配備電機，COBRASemicon螺桿真空泵具有出色的節(jié)能潛力。簡單的設(shè)計采用經(jīng)過驗證的Busch螺桿型材（可選配額外的直接法蘭安裝的羅茨真空泵），使COBRASemicon成為功能強大，可靠且低維護的真空發(fā)生器。
面向應(yīng)用的
COBRASemicon螺桿真空泵有多種尺寸和型號可供選擇，可與任何工藝匹配。即使在空間有限的情況下，其緊湊的結(jié)構(gòu)也簡化了安裝。這些泵具有同類產(chǎn)品中高的抽速，可提供大的產(chǎn)量（即使是氫氣）和對顆粒的廣泛耐受性。
COBRADS2610/3010E.
*螺絲設(shè)計
：
低運營成本，少的維護，高正常運行時間
靈活：
面向應(yīng)用
過程時間短：
由于抽速高
緊湊的設(shè)計
COBRADS2610/3010E是經(jīng)過驗證的COBRADS系列的干式螺桿真空泵。即使在需要高氫氣吞吐量的條件下，它們的高抽速也使COBRADS螺桿真空泵成為光伏電池，平板和半導(dǎo)體生產(chǎn)中所有苛刻工藝的理想選擇。*COBRADS螺桿真空泵技術(shù)可以將帶粉末和顆粒的介質(zhì)抽空。
COBRADS干式螺桿真空泵具有干式壓縮，專門開發(fā)的螺桿型材和*的氣體排放。結(jié)果是高度的蒸氣和顆粒耐受性。螺釘由單件鑄件制成，避免任何間隙，使得工藝流體或顆粒無法進入，從而防止腐蝕。
COBRADS2610/3010E標配集成真空助力器，可提供更高的抽速和極限壓力。前級泵和真空助力器組合在一個緊湊的底座上。
COBRADS2610/3010E配備電機，具有出色的能效。由于維護要求低，運行成本低，正常運行時間長，生命周期長，因此總體擁有成本非常低，為此性能等級設(shè)定了標準。
由于采用嵌入式設(shè)計，可以快速，輕松地將這些螺桿真空泵改裝到現(xiàn)有系統(tǒng)。
普旭COBRADS2610/3010E真空泵應(yīng)用：
高密度等離子體CVD（HDP-CVD）
快速熱處理（RTP）
亞大氣壓CVD（SACVD）
金屬有機CVD（MOCVD）
等離子體增強CVD（PECVD）
低壓CVD（LPCVD）
原子層沉積（ALD）
大容量負載鎖定
技術(shù)規(guī)格
COBRADS2610/3010E是螺桿真空泵和一個真空助力器。螺桿真空泵的氣缸內(nèi)的兩個螺桿轉(zhuǎn)子以相反的方向旋轉(zhuǎn)。泵送的介質(zhì)被截留在汽缸和螺桿室之間，被壓縮并被輸送到氣體出口。在壓縮過程中，螺桿轉(zhuǎn)子不會彼此接觸或與氣缸接觸。因此，壓縮室中不需要潤滑劑或工作流體。COBRADS系列真空泵采用的間接水冷卻，可在整個泵體內(nèi)實現(xiàn)可控的溫度分布，并可響應(yīng)工藝變化。*螺桿設(shè)計可實現(xiàn)*的泵送速度，從而排出氫氣。
普旭COBRA DS 0700 - 2000 G真空泵同類產(chǎn)品其他型號：
COBRADS0080/0160G             COBRADS0600E
COBRADS0700-2000G             COBRADS2610/3010E
COBRADS5161/9161A             COBRADS8162/8163A/E
COBRABA0100CCOBRAB            C0100/0200F
COBRABC0101FCOBRAB            C0101G
COBRABC0600FCOBRAB            C1000/2000F
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普旭COBRADS2610/3010E真空泵工作原理